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四探針測(cè)試儀

發(fā)布時(shí)間: 2023-08-20 21:01:38 點(diǎn)擊: 622
四探針測(cè)試儀是一種用于測(cè)量半導(dǎo)體材料電阻率以及薄層電阻的設(shè)備。它利用四探針?lè)ǎ跇悠飞现饾u減小兩個(gè)外側(cè)探針之間的距離,直到內(nèi)側(cè)探針上的電勢(shì)變化為止。通過(guò)對(duì)測(cè)得的數(shù)據(jù)進(jìn)行計(jì)算,可以得到樣品的電阻率。該設(shè)備通常具有高精度和高分辨率,適用于各種半導(dǎo)體材料和器件的電學(xué)性質(zhì)測(cè)量。四探針測(cè)試儀不僅可以測(cè)量材料的電阻率,還可以用于測(cè)試薄層電阻、方塊電阻等。